מצע MgF2
תיאור
MgF2 משמש כעדשה, פריזמה וחלון עבור אורך גל מ-110 ננומטר עד 7.5 מיקרומטר.זהו חומר המתאים ביותר כחלון עבור ArF Excimer Laser, בגלל השידור הטוב שלו ב-193nm.זה יעיל גם כקיטוב אופטי באזור האולטרה סגול.
נכסים
צפיפות (g/cm)3) | 3.18 |
נקודת התכה (℃) | 1255 |
מוליכות תרמית | 0.3 Wm-1K-1 ב-300K |
התפשטות תרמית | 13.7 x 10-6 /℃ ציר c מקביל 8.9 x 10-6 /℃ ציר c מאונך |
קשיות קנופ | 415 עם 100 גרם שקע (ק"ג/מ"מ) |
קיבולת חום ספציפית | 1003 J/(kg.k) |
קבוע דיאלקטרי | 1.87 בציר c מקביל של 1MHz 1.45 בציר c מאונך של 1MHz |
Youngs Modulus (E) | 138.5 GPa |
מודול גזירה (G) | 54.66 GPa |
מודול נפח (K) | 101.32 GPa |
מקדם אלסטי | C11=164;C12=53;C44=33.7 C13=63;C66=96 |
גבול אלסטי לכאורה | 49.6 MPa (7200 psi) |
Ratio Poisson | 0.276 |
הגדרת מצע MgF2
מצע MgF2 מתייחס למצע העשוי מחומר קריסטל מגנזיום פלואוריד (MgF2).MgF2 היא תרכובת אנאורגנית המורכבת מיסודות מגנזיום (Mg) ופלואור (F).
מצעי MgF2 הם בעלי מספר תכונות בולטות שהופכות אותם לפופולריים במגוון יישומים, במיוחד בתחומי האופטיקה ותצהיר סרט דק:
1. שקיפות גבוהה: ל-MgF2 שקיפות מצוינת באזורי האולטרה סגול (UV), הנראים והאינפרא אדום (IR) של הספקטרום האלקטרומגנטי.יש לו טווח שידור רחב מאולטרה סגול בכ-115 ננומטר ועד לאינפרא אדום בכ-7,500 ננומטר.
2. אינדקס שבירה נמוך: ל-MgF2 אינדקס שבירה נמוך יחסית, מה שהופך אותו לחומר אידיאלי עבור ציפוי AR ואופטיקה, שכן הוא ממזער השתקפויות לא רצויות ומשפר את העברת האור.
3. ספיגה נמוכה: MgF2 מפגין ספיגה נמוכה באזורים האולטרה סגולים והספקטרליים הנראים לעין.תכונה זו הופכת אותו לשימושי ביישומים הדורשים בהירות אופטית גבוהה, כגון עדשות, מנסרות וחלונות עבור קרניים אולטרה סגולות או גלויות.
4. יציבות כימית: MgF2 יציב מבחינה כימית, עמיד בפני מגוון רחב של כימיקלים ושומר על תכונותיו האופטיות והפיזיקליות במגוון רחב של תנאי סביבה.
5. יציבות תרמית: ל-MgF2 נקודת התכה גבוהה ויכול לעמוד בטמפרטורות עבודה גבוהות ללא פירוק משמעותי.
מצעי MgF2 משמשים בדרך כלל בציפויים אופטיים, תהליכי שקיעת סרט דק וחלונות או עדשות אופטיות במכשירים ומערכות שונות.הם יכולים לשמש גם כשכבות חיץ או תבניות לצמיחת סרטים דקים אחרים, כגון חומרים מוליכים למחצה או ציפויים מתכתיים.
מצעים אלה מיוצרים בדרך כלל באמצעות טכניקות כמו שקיעת אדים או שיטות הובלה פיזיות של אדים, כאשר חומר MgF2 מופקד על חומר מצע מתאים או גדל כגביש יחיד.בהתאם לדרישות היישום, מצעים יכולים להיות בצורת פרוסות, צלחות או צורות מותאמות אישית.