מצע SrTiO3
תיאור
גביש יחיד SrTiO3 בעל מבנה סריג טוב של חומר מבנה פרוסקיט.זהו חומר מצע מצוין לצמיחת אפיטקסיה של HTS ורוב סרטי תחמוצת.נעשה בו שימוש נרחב במחקר של סרטים דקים מוליכי-על בטמפרטורה גבוהה.כמו כן, הוא נמצא בשימוש נרחב בחלונות אופטיים מיוחדים ובמטרות קפיצה באיכות גבוהה.
נכסים
כיוון: (100) +/-0.5 מעלות
חיווי כיוון קצה: <001> +/-2 מעלות זמין כאופציה בעלות נוספת
פולנית: EPI צד אחד מלוטש על ידי טכנולוגיית CMP עם פחות נזק לסריג תת-קרקעי.
חבילה: ארוז בשקית ניילון בדרגה 100 מתחת לחדר נקי בכיתה 1000.
| מבנה קריסטל | מעוקב, a=3.905 A |
| שיטת צמיחה | ורנויל |
| צפיפות (g/cm)3） | 5.175 |
| נקודת התכה (℃) | 2080 |
| קשיות (Mho) | 6 |
| התפשטות תרמית | 10.4 (x10-6/ ℃) |
| קבוע דיאלקטרי | ~ 300 |
| טנגנט הפסד ב-10 גיגה-הרץ | ~5x10-4@ 300K , ~3 x10-4@77K |
| צבע ומראה | שקוף (לפעמים מעט חום על בסיס מצב חישול). ללא תאומים |
| יציבות כימית | לא מסיס במים |
הגדרת מצע SrTiO3
מצע SrTiO3 מתייחס למצע גבישי העשוי מהתרכובת סטרונציום טיטנאט (SrTiO3).SrTiO3 הוא חומר פרוסקיט בעל מבנה גבישי מעוקב, המתאפיין בקבוע דיאלקטרי גבוה, יציבות תרמית גבוהה והתאמה טובה של סריג לחומרים רבים אחרים.
מצעי SrTiO3 נמצאים בשימוש נרחב בתחומים של שקיעת סרט דק וצמיחה אפיטקסיאלית.המבנה הקובי של SrTiO3 מאפשר צמיחה של סרטים דקים באיכות גבוהה עם איכות גבישית מעולה וצפיפות פגמים נמוכה.זה הופך את מצעי SrTiO3 למתאימים מאוד לגידול סרטים אפיטקסיאליים והטרו-מבנים ליישומים שונים.
הקבוע הדיאלקטרי הגבוה של SrTiO3 הופך אותו למתאים ליישומים כגון קבלים, התקני זיכרון וסרטים דקים פרו-אלקטריים.היציבות התרמית שלו הופכת אותו למתאים ליישומים בטמפרטורה גבוהה.
יתר על כן, המאפיינים המגוונים של SrTiO3, כגון המוליכות המתכתית שלו בטמפרטורות נמוכות והאפשרות לעורר מצב מוליך-על, הופכים אותו לשימושי עבור מחקר פיזיקת החומר המעובה ופיתוח מכשירים אלקטרוניים ואופטואלקטרוניים.
לסיכום, מצעי SrTiO3 הם מצעים גבישיים העשויים מסטרונציום טיטנאט, המשמשים בדרך כלל בתצהיר סרט דק, צמיחה אפיטקסיאלית ומגוון רחב של יישומים אלקטרוניים ואופטואלקטרוניים בשל הקבוע הדיאלקטרי הגבוה שלהם, היציבות התרמית ותכונות התאמת הסריג הטובות שלהם.
